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海关进出口税则子目注释
子目注释
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最新更新依据:国务院关税税则委员会关于调整部分本国子目注释的通知 (税委会〔2019〕51号)
商品编码:84862041  商品名称:专用或主要用于制造半导体器件或集成电路用的等离子体干法刻蚀机

税    目:84862041    
     
商品名称:专用或主要用于制造半导体器件或集成电路用的等离子体干法刻蚀机
      

商品描述:
 
    子目8486.2041专用或主要用于制造半导体器件或集成电路用的等离子体干法刻蚀机,是一种利用等离子体刻蚀是在等离子体存在的条件下,以平面曝光后得到的光刻图形作掩模,通过溅射、化学反应、辅助能量离子(或电子)与模式转换等方式,精确可控地除去衬底表面上一定深度的薄膜物质而留下不受影响的沟槽边壁上的物质的一种加工设备。其内部腔体的结构和尺寸决定了此类设备具有相当的专用性。