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海关进出口税则子目注释
子目注释
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最新更新依据:国务院关税税则委员会关于调整部分本国子目注释的通知 (税委会〔2019〕51号)
商品编码:84862031  商品名称:用于制造半导体集成电路的分布重复光刻机

税    目:84862031  
     
商品名称:用于制造半导体集成电路的分布重复光刻机
      

商品描述:
 
    子目8486.2031分布重复光刻机,又称步进光刻机,是将电路图绘制到涂有光敏材料,即光刻胶的半导体晶圆上的设备。该设备采用投影技术,按照“对准→曝光→移位”的步骤,可将掩膜版缩小或1:1地对圆片进行曝光,每次曝光圆片的一部分,进行重复操作,最终在整张半导体晶圆生成尺寸精确的电路图形。


    必须注意到,虽然子目8486.2031的分布重复光刻机(用于生产集成电路)和子目8486.3031的分布重复光刻机(用于生产平板显示器)的功能和工艺完全相同,但是由于用于完全不同的两个领域,其专用性非常明显,根据其工作腔体的体积、尺寸可以明显地区分两种用于不同行业的光刻机。